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LMPLN-IR/LCPLN-IR紅外線觀察用
適用于晶圓內(nèi)部觀察等近紅外領域觀察的特殊鏡頭
LCPLN-IR可利用校正環(huán)補正硅質厚度或玻璃厚度
產(chǎn)品參數(shù)：
| 物鏡 | 倍率 | N.A(開口數(shù)） | W.D.（焦點距離）（mm） | 蓋玻璃厚度（mm） | 硅厚度（mm） | 解析度（μm） |
| LMPLN-IR | 5X | 0.10 | 23 | - | 6.71 | |
| 10X | 0.3 | 18 | - | 2.24 | ||
| LCPLN-IR | 20X | 0.45 | 8.3 | 0-1.2 | 0-1.2 | 1.49 |
| 50X | 0.65 | 4.5 | 0-1.2 | 0-1.2 | 1.03 | |
| 100X | 0.85 | 1.2 | 0-0.7 | 0-1.0 | 0.79 |
LMPLN-IR-5X:
LMPLN-IR-10X:
LMPLN-IR-20X:
LMPLN-IR-50X:
LMPLN-IR-100X:
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