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干涉測量鏡頭可用在非接觸光學(xué)壓型測量設(shè)備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數(shù)等。也可用來檢測表面粗糙度，測量精度很高，在一個波長之內(nèi)。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，更寬的視場和更大的景深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場合。采用Nikon 200mm鏡筒的時可將鏡頭直接裝配到C接口相機上。
型號 | CCW-310 | CCW-311 | CCW-312 | CCW-313 | CCW-314 | CCW-788 |
放大率: | 2.5X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
數(shù)字孔徑 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
景深(μm) | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
水平視場, 1/2"傳感器 | 2.56mm | 1.28mm | 0.64mm | 0.32mm | 0.13mm | 0.08mm |
水平視場, 2/3"傳感器 | 3.52mm | 1.76mm | 0.88mm | 0.44mm | 0.18mm | 0.011mm |
視場，20直徑視場目鏡(mm) | 8 | 4 | 2 | 1 | 0.4 | 0.2 |
視場，25直徑視場目鏡(mm) | 10 | 5 | 2.5 | 1.25 | 0.5 | 0.25 |
焦距FL (mm) | 80 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
安裝螺紋 | M27 x 0.75 | RMS | RMS | RMS | RMS | RMS |
分辨能力(μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
類型 | Michelson | Michelson | Mirau | Mirau | Mirau | Mirau |
重量(g) | 440 | 280 | 125 | 130 | 150 | 200 |
工作距離(mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2 |
| 編號 | MUL42031 | MUL42051 | MUL40101 | MUL40201 | MUL40501 | MUL40900 |
顏色再現(xiàn)能力
工作距離長且數(shù)值孔徑值NA大
高對比度及Z小耀斑
無應(yīng)變
Nikon CFI60無限遠(yuǎn)校正明場物鏡符合先進(jìn)的成像要求，是Nikon很好的光學(xué)技術(shù)。由于采用了60mm齊焦距以及較粗的直徑，Nikon CFI60無限遠(yuǎn)校正明場物鏡可提供更高的亮度，以及極限的工作距離和數(shù)值孔徑NA（聚光能力）。這款物鏡旨在校正整個視場上的橫向和軸向色差，從而獲得兼有高對比度和高分辨率的圖像。
尼康鏡筒可用來會聚從遠(yuǎn)場校正鏡頭到像面的光束。由于光學(xué)性能，從鏡筒到物鏡定位處應(yīng)保持在100-200mm之間，這樣空間可允許本附件插入光路并適用參數(shù)要求。這款管鏡可以集成到 C 接口系統(tǒng)，方法是將 Nikon 管鏡固定到 C 接口安裝座。
