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  • PT-NM100 /PT-NM100Z15納米定位平臺(tái)
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產(chǎn)品名稱: PT-NM100 /PT-NM100Z15納米定位平臺(tái)

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規(guī)格:
型號(hào)PT-NM100PT-NM100Z15
運(yùn)動(dòng)軸X/YX/Y/Z
傳感器類型電容式電容式
閉環(huán)行程100/100μm100/100/15μm
閉環(huán)分辨率0.5/0.5nm0.5/0.5/0.1nm
線性度0.02/0.02%0.02/0.02/0.03%
無(wú)載諧振頻率850/850Hz600/600/900Hz
驅(qū)動(dòng)電壓-30~+150V-30~+150V
電纜長(zhǎng)度2m2m
連接器類型D-sub15D-sub15
位移臺(tái)材料鋁合金鋁合金
負(fù)載5kg5kg
體積140 x 140 x 20.8mm140 x 140 x 30.2mm


產(chǎn)品詳情:

產(chǎn)品描述:

納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種高新技術(shù)行業(yè)。

納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置高精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。

控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)??刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。

納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的??刂破鲗?duì)外通信方式有多種,常用的方式是通過(guò)BNC模擬信號(hào)(-10V~10V)控制納米位移臺(tái)的位移。還可以通過(guò)USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信??刂破鲀?nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。

產(chǎn)品尺寸圖:

PT-NM100:

PT-NM100 /PT-NM100Z15納米定位平臺(tái)

PT-NM100Z15:

PT-NM100 /PT-NM100Z15納米定位平臺(tái)


服務(wù):
PT-NM100 /PT-NM100Z15納米定位平臺(tái)
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