型號(hào) | PT-NM100 | PT-NM100Z15 |
運(yùn)動(dòng)軸 | X/Y | X/Y/Z |
傳感器類型 | 電容式 | 電容式 |
閉環(huán)行程 | 100/100μm | 100/100/15μm |
閉環(huán)分辨率 | 0.5/0.5nm | 0.5/0.5/0.1nm |
線性度 | 0.02/0.02% | 0.02/0.02/0.03% |
無(wú)載諧振頻率 | 850/850Hz | 600/600/900Hz |
驅(qū)動(dòng)電壓 | -30~+150V | -30~+150V |
電纜長(zhǎng)度 | 2m | 2m |
連接器類型 | D-sub15 | D-sub15 |
位移臺(tái)材料 | 鋁合金 | 鋁合金 |
負(fù)載 | 5kg | 5kg |
體積 | 140 x 140 x 20.8mm | 140 x 140 x 30.2mm |
產(chǎn)品描述:
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種高新技術(shù)行業(yè)。
納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置高精密傳感器,閉環(huán)控制時(shí),傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。
控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)??刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的??刂破鲗?duì)外通信方式有多種,常用的方式是通過(guò)BNC模擬信號(hào)(-10V~10V)控制納米位移臺(tái)的位移。還可以通過(guò)USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信??刂破鲀?nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
產(chǎn)品尺寸圖:
PT-NM100:
PT-NM100Z15:
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