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X軸:行程1000mm,速度0.1-150mm/s,重復(fù)定位精度0.05/300mm,z小步距0.02毫米
y軸:行程500mm,速度0.1-150mm/s,重復(fù)定位精度0.05/300mm,z小步距0.02毫米
z軸:行程300mm,速度0.1-150mm/s,重復(fù)定位精度0.05/300mm,z小步距0.02毫米
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