行程 (靈敏度) | X | 粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm) | ||||||
Y | 粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm) | |||||||
Z | 粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm) | |||||||
θx | - | - | ±3°(≤25.2″) | |||||
θy | - | - | ±3°(≤23.4″) | |||||
θz | - | - | - | - | ±4°(≤34″) | |||
導(dǎo)向機(jī)構(gòu) | 交叉滾柱導(dǎo)軌 | 交叉滾柱導(dǎo)軌+交叉滾柱軸環(huán) | ||||||
驅(qū)動(dòng)方式 | 分厘卡 | |||||||
主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色陽極氧化處理 | |||||||
自重(Kg) | 1.74 | 2.37 | 2.7 | |||||
負(fù)載(Kg) | 1.5 | 1 | 0.5 |
| ||||
產(chǎn)品特點(diǎn)：
多種組維方式。
系統(tǒng)線性靈敏度優(yōu)于0.5μm,角度靈敏度優(yōu)于23.4″。
高穩(wěn)定性，高性價(jià)比。
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