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為了提高電液束加工的加工精度、加工效率以及加工的可重復(fù)性，設(shè)計(jì)了基于電液束加工的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。

一，可實(shí)現(xiàn)X、Y單軸、兩軸聯(lián)動(dòng)及Z軸的直線(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

運(yùn)動(dòng)控制卡具備直線(xiàn)插補(bǔ)及圓弧插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)功能，通過(guò)設(shè)置坐標(biāo)原點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)一鍵回零及自動(dòng)對(duì)刀等功能，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化控制，大大提高加工效率及加工精度。

該實(shí)驗(yàn)平臺(tái)在XOY平面上，X軸、Y軸均由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。單向z小進(jìn)給速度為1um/s;z大進(jìn)給速度可達(dá)到40mm/s。并且能實(shí)現(xiàn)急回運(yùn)動(dòng)即加工進(jìn)給速度慢，空載回退速度快。運(yùn)動(dòng)速度在1um/s～40 mm/s范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)。

X軸、Y軸運(yùn)動(dòng)行程均為200 mm ，定位精度10μm，重復(fù)定位精度5μm。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的臺(tái)面尺寸為200mm*200mm。十字滑臺(tái)的承重可達(dá)50Kg以上且不影響平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。Y軸及Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)上200*200mm的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)用316L不銹鋼材料，其他機(jī)械部件采用防腐蝕的鋁合金材料（XY兩軸直線(xiàn)十字滑臺(tái)見(jiàn)附件1）

二，Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

（1）Z軸運(yùn)動(dòng)行程為300mm，定位精度10μm，重復(fù)定位精度5μm。Z軸由伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，單向z小進(jìn)給速度為1um/s;z大進(jìn)給速度可達(dá)到40mm/s。并且能實(shí)現(xiàn)急回運(yùn)動(dòng)即加工進(jìn)給速度慢，空載回退速度快。運(yùn)動(dòng)速度在1um/s～40 mm/s范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)。Z軸可實(shí)現(xiàn)精確自動(dòng)對(duì)刀且運(yùn)動(dòng)位置精確可控。Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)z大承重50Kg以上且不影響平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。（Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)見(jiàn)圖2）

（2）Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)的安裝高度將綜合考慮Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)的行程及電解槽內(nèi)工作臺(tái)（見(jiàn)圖3）的安裝高度決定。Z軸安裝在龍門(mén)架橫梁的中線(xiàn)上并保證Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)的下端面到Y(jié)軸直線(xiàn)滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上端面的距離為275mm（見(jiàn)圖4）。

（3）Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)（預(yù)留均勻分布的標(biāo)準(zhǔn)M6螺紋安裝孔）上沿X軸正向預(yù)留50mm電液束噴頭安裝距離。電液束噴頭安裝固定后，位于X軸及Y軸的行程中點(diǎn)，確保電液束噴頭在電解槽（見(jiàn)圖5）內(nèi)中心200*200mm的正方形區(qū)域內(nèi)運(yùn)動(dòng)。

（4）為了使裝置能夠更好地適應(yīng)特殊的加工場(chǎng)合，在裝置的運(yùn)動(dòng)行程上利用風(fēng)琴蓋對(duì)加工裝置進(jìn)行防護(hù)，防止腐蝕性液體及顆粒接觸直線(xiàn)滑臺(tái)內(nèi)部的滾珠絲桿及導(dǎo)軌。風(fēng)琴蓋的安裝、拆卸和維修要求操作簡(jiǎn)易方便，風(fēng)琴蓋安裝到裝置后要求在運(yùn)行過(guò)程中穩(wěn)定并不脫落。

（5）為了進(jìn)一步對(duì)直線(xiàn)滑臺(tái)內(nèi)部滾珠絲桿的防護(hù)，需要對(duì)直線(xiàn)滑臺(tái)的端面進(jìn)行密封并不影響運(yùn)動(dòng)行程，防止腐蝕性液體及顆粒進(jìn)入直線(xiàn)滑臺(tái)內(nèi)部。

（6）為了進(jìn)一步提高平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度，在X軸、Y軸及Z軸的運(yùn)動(dòng)方向上裝有光柵尺，以便調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)精度。通過(guò)光柵尺實(shí)時(shí)采點(diǎn)構(gòu)成機(jī)床的實(shí)際運(yùn)動(dòng)軌跡與目標(biāo)軌跡、編程軌跡在同一顯示界面上顯示，進(jìn)行三者的實(shí)時(shí)比對(duì)，實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)軌跡的高精度控制。

（7）在機(jī)床的運(yùn)動(dòng)軌跡控制方面，提供帶有運(yùn)動(dòng)控制函數(shù)的運(yùn)動(dòng)控制卡及技術(shù)手冊(cè)，方便我方進(jìn)行平臺(tái)的二次開(kāi)發(fā)。

（8）整套裝置安裝固定在大理石龍門(mén)架上。

（9）龍門(mén)架橫梁承重100Kg以上；大理石底座承重200Kg（不包括龍門(mén)架重量）以上且滿(mǎn)足強(qiáng)度、剛度及穩(wěn)定性要求。

（10）將伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、運(yùn)動(dòng)控制卡等組件集成在19寸4U機(jī)箱里。

檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：

機(jī)床的機(jī)械安裝精度：

X軸、Y軸移動(dòng)行程均為200 mm ，定位精度10μm，重復(fù)定位精度5μm；

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面尺寸200mm*200mm；

Z軸可動(dòng)范圍為300mm，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面尺寸200mm*200mm；定位精度10μm，重復(fù)定位精度5μm。

Y軸及Z軸直線(xiàn)滑臺(tái)上的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用316L不銹鋼材料；其他機(jī)械部件材料選用防腐蝕的鋁合金材料。

龍門(mén)架橫梁承重100Kg以上；大理石底座承重200Kg（不包括龍門(mén)架重量）以上且滿(mǎn)足強(qiáng)度、剛度及穩(wěn)定性要求。

電液束實(shí)驗(yàn)平臺(tái)技術(shù)要求所提到的相關(guān)技術(shù)指標(biāo)等。

 

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